Quelle méthode évalue les propriétés électriques des oxydes et interfaces sans former d’électrode, en déposant des charges par décharge corona sur la surface de la plaquette et en mesurant la variation du potentiel de surface ?

Réponse : C. Caractérisation électrique sans contact par charge corona (COCOS, etc.)

En déposant par décharge corona une quantité définie de charges sur la surface de la plaquette et en mesurant sans contact le potentiel de surface avec une sonde de Kelvin, on évalue l’épaisseur d’oxyde, les charges dans le film, les états d’interface, les caractéristiques de fuite, etc., sans réaliser de structure MOS. Aucune étape de formation d’électrode de grille n’est nécessaire et la plaquette mesurée peut poursuivre le procédé ; la méthode sert donc à la surveillance en production. La méthode des quatre pointes et la diffraction X ne donnent pas ces propriétés électriques.