Quelle méthode d’analyse étudie les éléments et l’état de liaison chimique en surface à partir de l’énergie des photoélectrons émis sous irradiation X ?

Réponse : B. XPS (spectroscopie de photoélectrons X)

La XPS mesure l’énergie cinétique des photoélectrons éjectés de la surface sous irradiation X, et l’énergie de liaison qui en découle donne la nature des éléments et leur état de liaison chimique. Le Si présente par exemple environ 99 eV à l’état élémentaire et environ 103 eV dans SiO2, ce qui révèle le degré d’oxydation. Les photoélectrons ne s’échappant que de quelques nm de profondeur, la méthode convient à l’évaluation des films minces, des interfaces et des traitements de surface. L’AFM mesure la forme, la méthode des quatre pointes la résistance.