為了找出LSI的故障位置，偵測運作中不良處所發出的微弱光線的分析手法是下列何者？

正確答案：C. 發光顯微鏡（發光分析）

有漏電流流過之處，或產生熱載子的電晶體，會發出極微弱的近紅外光。發光顯微鏡是以高靈敏度的相機偵測這種光，找出運作中晶片上故障位置的手法。當正面被多層配線遮住時，可利用矽能讓紅外光穿透的特性，從薄化後的背面觀察。XRD調查晶體，TXRF調查表面的污染。