TMAH란?
てぃーえむえーえいち
水酸化テトラメチルアンモニウム。金属イオンを含まない有機アルカリで、フォトレジストの現像液に使われる。皮膚からの吸収による中毒に注意が必要。
일본어 명칭: TMAH
분야: 공정 재료(가스와 케미칼)
관련 용어
超純水 特殊材料ガス NF3(三フッ化窒素) アルシン(AsH3) シラン(SiH4) プリカーサ(前駆体) ホスフィン(PH3) マスフローコントローラ(MFC)
てぃーえむえーえいち
水酸化テトラメチルアンモニウム。金属イオンを含まない有機アルカリで、フォトレジストの現像液に使われる。皮膚からの吸収による中毒に注意が必要。
일본어 명칭: TMAH
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超純水 特殊材料ガス NF3(三フッ化窒素) アルシン(AsH3) シラン(SiH4) プリカーサ(前駆体) ホスフィン(PH3) マスフローコントローラ(MFC)