製程材料（氣體與藥液） 半導體的顯影液不使用氫氧化鈉等，而使用TMAH這類有機鹼，其主要理由為下列何者？ A因為TMAH的顏色較深 B因為TMAH一定比較便宜 C為了避免鈉等金屬離子造成的汙染 查看答案與解析 正確答案：C. 為了避免鈉等金屬離子造成的汙染 鈉或鉀等鹼金屬離子會在氧化膜中因電場而移動，成為可動離子，使電晶體的臨界電壓變動。早期MOS元件不穩定的主要原因就是這種鈉汙染。TMAH是不含金屬的有機鹼，因此沒有這類汙染的疑慮。顏色或價格並非被選用的理由，TMAH也不一定比較便宜。