製程材料（氣體與藥液） 光阻顯影一般使用的水溶液為下列何者？ ATMAH（氫氧化四甲基銨）水溶液 B鹽酸 C氫氟酸 查看答案與解析 正確答案：A. TMAH（氫氧化四甲基銨）水溶液 正型光阻的顯影，以TMAH的2.38%水溶液（約0.26 N）作為業界標準。因曝光而變得易溶於鹼的部分會被溶解，圖案隨之顯現。藉由統一濃度，使任何工廠的顯影速度都容易重現。鹽酸或氫氟酸是酸，沒有使光阻顯影的作用。另外也有以有機溶劑溶解未曝光部分的負型顯影方式。