什麼是特殊材料氣體
矽烷、砷化氫、磷化氫等，用於半導體製造、具有毒性或可燃性的高純度氣體。在嚴格管理下供應。
日文名稱: 特殊材料ガス
這個名詞所屬的領域: 製程材料（氣體與藥液）
相關名詞
矽烷(SiH4) 前驅物 砷化氫(AsH3) 超純水 質量流量控制器(MFC) 磷化氫(PH3) NF3(三氟化氮) TMAH(氫氧化四甲基銨)
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