SPM（硫酸與雙氧水）清洗之後若沖洗不充分，下列何者是容易發生而廣為人知的問題？

正確答案：A. 表面殘留硫酸根離子等，日後成為霧狀（haze）與缺陷的原因

硫酸黏性高且容易吸附在表面，若沖洗不充分會殘留硫酸根離子，與空氣中的氨等反應而析出硫酸銨的微結晶，產生霧狀（haze）與缺陷。若發生在曝光用的光罩上，也曾成為降低透光率的成長性缺陷（haze）的原因。因此要以溫水充分沖洗，或改用不含硫酸的清洗方式。

• A. 正確。殘留的硫酸根離子會成為霧狀與缺陷的原因。
• B. 晶圓不會變厚。
• C. 導電型不會改變。