SPM(硫酸過水)란?

えすぴーえむ

硫酸と過酸化水素水の混合液。強い酸化力で、レジストなどの有機物を除去する。

일본어 명칭: SPM(硫酸過水)

SPM(硫酸過水)은(는) CMP와 세정 등 1개 분야의 연습 문제 4개에 나와요.

분야: CMP와 세정

도전해 보기: SPM(硫酸過水) 관련 문제

황산과 과산화수소수의 혼합액(SPM)을 이용한 세정의 주된 목적은?

  1. A레지스트 등 유기물 제거
  2. B자연 산화막 제거
  3. C구리 증착
정답과 해설 보기

정답: A. 레지스트 등 유기물 제거

SPM(H2SO4:H2O2, 예: 4:1, 120~150 ℃ 정도)은 혼합 시 생성되는 퍼옥소일황산(카로산)의 강한 산화력으로 레지스트 잔류물 등의 유기물을 분해하여 제거합니다. 애싱 후 세정이나 이온 주입 후 레지스트 제거 등에 사용되며, '피라냐 용액'이라고 불릴 만큼 반응성이 높아 취급에 주의가 필요합니다. 황산 사용량이 많기 때문에 오존수 등으로의 대체도 추진되고 있습니다.

SPM(황산과 과산화수소수) 세정 후 헹굼이 불충분할 때 발생하기 쉬운 문제로 알려진 것은?

  1. A표면에 황산 이온 등이 남아 나중에 흐림(헤이즈)이나 결함의 원인이 된다
  2. B웨이퍼가 두꺼워진다
  3. C표면이 n형이 된다
정답과 해설 보기

정답: A. 표면에 황산 이온 등이 남아 나중에 흐림(헤이즈)이나 결함의 원인이 된다

황산은 점성이 높고 표면에 흡착되기 쉬워, 헹굼이 불충분하면 황산 이온이 잔류하고 공기 중의 암모니아 등과 반응하여 황산암모늄 미세 결정이 석출되어 흐림(헤이즈)이나 결함이 생길 수 있습니다. 노광 마스크에서 발생하면 투과율을 떨어뜨리는 성장성 결함(헤이즈)의 원인이 되기도 했습니다. 그래서 온수로 충분히 헹구거나, 황산을 사용하지 않는 세정으로 대체합니다.

해설 속 SPM(硫酸過水)

SPM(硫酸過水)이(가) 나오는 문제 (4)

  1. 황산과 과산화수소수의 혼합액(SPM)을 이용한 세정의 주된 목적은?
  2. SPM(황산과 과산화수소수) 세정 후 헹굼이 불충분할 때 발생하기 쉬운 문제로 알려진 것은?
  3. 오존을 녹인 초순수(오존수)를 세정에 사용하는 주된 목적은?
  4. 세정으로 제거하는 대상인 웨이퍼 표면 오염의 종류 조합으로 올바른 것은?

관련 용어

SC-1(APM) SC-2(HPM) 枚葉式洗浄 自然酸化膜 希フッ酸(DHF) CMP RCA洗浄 エロージョン スラリー セリア(酸化セリウム)

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