セルフバイアスとは
せるふばいあす
容量結合のプラズマ装置で、ウエハ側の電極が自然に負の直流電位をもつ現象。正のイオンがウエハに向かって加速され、異方性のエッチングに役立つ。
この用語の分野: エッチング
解説の中の「セルフバイアス」
高周波電力をかけた電極では、軽く動きやすい電子の方がイオンより多く流れ込むため、コンデンサを通してつながった電極は平均して負の直流電位(セルフバイアス、数十〜数百V)をもちます。
容量結合型などのプラズマ装置で、ウエハ側の電極が自然に負の直流電位をもち、イオンをウエハに向けて加速する現象を何と呼ぶ…
「セルフバイアス」が出てくる問題(1問)
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