セルフバイアス란?

せるふばいあす

容量結合のプラズマ装置で、ウエハ側の電極が自然に負の直流電位をもつ現象。正のイオンがウエハに向かって加速され、異方性のエッチングに役立つ。

일본어 명칭: セルフバイアス

분야: 식각