什麼是研磨墊修整
以鑽石工具磨削CMP研磨墊表面使其重新粗糙化，恢復保持研磨液的狀態，以穩定研磨速率的作業。也稱為修整（dressing）。
日文名稱: パッドコンディショニング
這個名詞所屬的領域: CMP與清洗
相關名詞
兆聲波清洗 研磨液 原生氧化膜 氧化鈰(Ceria) 單晶圓清洗 普勒斯頓方程式 稀釋氫氟酸(DHF) 圖案倒塌 碟形凹陷 CMP(化學機械研磨)
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