パッドコンディショニング란?

ぱっどこんでぃしょにんぐ

CMPの研磨パッドの表面をダイヤモンドの工具で削って目立てし、スラリーを保持する状態を回復させて研磨速度を安定させる作業。ドレッシングとも呼ぶ。

일본어 명칭: パッドコンディショニング

분야: CMP와 세정