什麼是氧化鈰(Ceria)

用於CMP研磨液的研磨粒子。容易與氧化膜發生化學反應，且對氮化膜可得到高選擇比，因此用於STI的CMP。

日文名稱: セリア(酸化セリウム)

這個名詞所屬的領域: CMP與清洗

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