パッドコンディショニングとは

ぱっどこんでぃしょにんぐ

CMPの研磨パッドの表面をダイヤモンドの工具で削って目立てし、スラリーを保持する状態を回復させて研磨速度を安定させる作業。ドレッシングとも呼ぶ。