ICP(誘導結合プラズマ)란?
あいしーぴー
コイルに高周波電流を流して高密度のプラズマを生成する方式。プラズマの密度と、ウエハに入るイオンのエネルギーを別々に制御しやすい。
일본어 명칭: ICP(誘導結合プラズマ)
분야: 식각
관련 용어
等方性エッチング 選択比 異方性エッチング 終点検出 ALE(原子層エッチング) ARDE(アスペクト比依存エッチング) RIE(反応性イオンエッチング) アスペクト比 アッシング アンテナ効果
あいしーぴー
コイルに高周波電流を流して高密度のプラズマを生成する方式。プラズマの密度と、ウエハに入るイオンのエネルギーを別々に制御しやすい。
일본어 명칭: ICP(誘導結合プラズマ)
분야: 식각
等方性エッチング 選択比 異方性エッチング 終点検出 ALE(原子層エッチング) ARDE(アスペクト比依存エッチング) RIE(反応性イオンエッチング) アスペクト比 アッシング アンテナ効果