什麼是臨界厚度

異質磊晶成長晶格常數不同的層時，能在不產生差排的情況下保持應變持續成長的最大膜厚。超過此厚度就會產生錯配差排。

日文名稱: 臨界膜厚

這個名詞所屬的領域: 磊晶成長