對晶格常數差異很大的材料進行異質磊晶成長時，在其間夾入組成逐漸改變之層的「漸變緩衝層」，其目的為下列何者？

正確答案：B. 為了使晶格常數逐漸變化，一點一點地釋放應變，減少貫穿至上層的差排

若直接成長晶格常數差異大的材料，許多差排會貫穿到上層。夾入組成逐漸改變的緩衝層（例如每1 µm使Ge增加10%的SiGe）後，應變會分階段鬆弛，失配差排會沿著界面延伸得很長而停留在緩衝層內，可將上層的貫穿差排降低到10⁵～10⁶ cm⁻²左右。相對地，緩衝層會變厚到數µm。

• A. 目的不是使晶圓變薄。
• B. 正確。分階段釋放應變，以減少上層的差排。
• C. 目的不是提高成長速率。