磊晶成長 下列何者是異質磊晶成長的例子？ A在矽基板上成長矽 B在矽基板上成長SiGe C矽基板的熱氧化 查看答案與解析 正確答案：B. 在矽基板上成長SiGe 成長與基板相同材料的稱為同質磊晶，成長不同材料的稱為異質磊晶。矽上的SiGe、藍寶石或SiC上的GaN、GaAs上的AlGaAs等都是異質磊晶的例子，其課題在於管理因晶格常數與熱膨脹的差異所產生的應變與缺陷。熱氧化形成的SiO2是消耗矽所生成的非晶質膜，並不是磊晶成長。