什麼是靜電吸盤

利用靜電力將晶圓吸附固定在載台上的機構。可在真空中使用，也能在背面通入氣體以控制晶圓溫度。廣泛用於成膜與蝕刻設備。

日文名稱: 静電チャック

這個名詞所屬的領域: 薄膜沉積（CVD與PVD）