静電チャック란?

せいでんちゃっく

静電気力でウエハを台に吸着して固定する機構。真空中でも使え、ウエハの温度を制御するために裏面にガスを流すこともできる。成膜やエッチングの装置で広く使われる。

일본어 명칭: 静電チャック

분야: 박막 증착(CVD와 PVD)