什麼是尖峰退火

使晶圓迅速升至高溫，幾乎不在該溫度停留便立即降溫的熱處理。可在抑制雜質擴散的同時進行活化，用於形成淺接面。

日文名稱: スパイクアニール

這個名詞所屬的領域: 離子佈植