在熱擴散中，表面雜質濃度維持固定的擴散（定表面濃度擴散）與擴散固定量雜質的情況（有限量擴散），兩者分布形狀的組合，下列何者正確？

正確答案：A. 定表面濃度：互補誤差函數（erfc）分布，有限量：高斯分布

在維持表面濃度固定的預沉積中，分布呈互補誤差函數（erfc）形狀，且導入量會隨時間增加。在將已導入的固定量雜質推入的驅入中，總量保持不變而擴散開來，表面濃度下降，形成高斯分布的形狀。將這兩者組合，就能分別調整表面濃度與接面深度。實際的高濃度擴散，則會偏離這些理想形狀。

• A. 正確。定表面濃度為 erfc，有限量為高斯分布。
• B. 擴散的分布不會呈直線。
• C. 組合顛倒了。