氧化與擴散 在熱擴散中，於表面導入一定量雜質的步驟之後，將雜質推入更深處的步驟稱為什麼？ A預沉積 B磊晶 C驅入（推進擴散） 查看答案與解析 正確答案：C. 驅入（推進擴散） 熱擴散多分為兩個階段：先以預沉積在維持表面濃度固定的情況下，於淺層導入既定量的雜質；再以驅入停止供應並加熱，使該雜質量維持不變地擴散到內部，形成既定的深度與分布。現在一般是以能精確決定劑量的離子佈植導入雜質，再藉由後續熱處理進行活化與分布調整，但在太陽能電池與功率元件的深擴散等場合，仍會使用這種方法。