不將研磨粒子放入研磨液，而是固定在研磨墊內的CMP方式為下列何者？

正確答案：B. 固定磨粒CMP（fixed-abrasive CMP）

固定磨粒CMP使用將氧化鈰等研磨粒子固定在樹脂中的研磨墊，僅供應不含粒子的藥液進行研磨。只有凸出部分接觸磨粒而被研磨，凹處幾乎不被研磨，因此平坦化能力高，也具有表面變平坦後研磨自然變慢的自停性。由於還能減少研磨液的使用量與廢液，已被用於STI的平坦化等，但研磨墊的缺陷管理是其課題。

• A. 旋轉塗佈是以旋轉將液體鋪開而形成膜的方法。
• B. 正確。是將研磨粒子固定在研磨墊上的方式。
• C. 電鍍是以電使金屬析出的沉積方法。