セリア(酸化セリウム)란?

せりあ

CMPのスラリーに使われる研磨粒子。酸化膜と化学的に反応しやすく、窒化膜に対して高い選択比が得られるため、STIのCMPに使われる。

일본어 명칭: セリア(酸化セリウム)

분야: CMP와 세정