下列何者是處理GaAs晶圓的加工碎屑或廢棄物時需要注意的正確理由？

正確答案：B. 因為含有砷，必須作為有害物質適當管理與處理

GaAs含有約一半（重量約52%）的有害砷，因此研磨或拋光所產生的粉塵與廢液、廢棄的晶圓，必須依法令作為特別管理產業廢棄物等適當處理，並進行砷的回收。為避免作業人員暴露，會使用局部排氣與防護裝備。製造時使用的砷化氫（AsH3）氣體毒性更劇烈，需要嚴格的氣體偵測與除害設備。