アルシン(AsH3)란?

あるしん

ヒ素と水素の化合物のガス。n型の不純物(ヒ素)の導入や、GaAsなどの化合物半導体の成長に使われる。毒性が非常に強い。

일본어 명칭: アルシン(AsH3)

アルシン(AsH3)은(는) 화합물 반도체 등 1개 분야의 연습 문제 1개에 나와요.

분야: 공정 재료(가스와 케미칼)

도전해 보기: アルシン(AsH3) 관련 문제

GaAs 웨이퍼의 가공 부스러기나 폐기물을 취급할 때 주의가 필요한 이유로 올바른 것은?

  1. A방사성 물질을 포함하기 때문
  2. B비소를 포함하므로 유해 물질로서 적절히 관리·처리해야 하기 때문
  3. C공기에 닿으면 폭발하기 때문
정답과 해설 보기

정답: B. 비소를 포함하므로 유해 물질로서 적절히 관리·처리해야 하기 때문

GaAs에는 유해한 비소가 약 절반(중량으로 약 52%) 포함되어 있으므로, 연삭이나 연마에서 나오는 분진과 폐액, 폐기하는 웨이퍼는 법령에 따라 특별관리 산업폐기물 등으로 적절히 처리하고 비소 회수도 합니다. 작업자가 노출되지 않도록 국소 배기와 보호구를 사용합니다. 제조 시 사용하는 아르신(AsH3) 가스는 더욱 맹독성이어서 엄격한 가스 검지와 제해 설비가 필요합니다.

해설 속 アルシン(AsH3)

アルシン(AsH3)이(가) 나오는 문제 (1)

  1. GaAs 웨이퍼의 가공 부스러기나 폐기물을 취급할 때 주의가 필요한 이유로 올바른 것은?

관련 용어

GaAs(ガリウムヒ素) 超純水 特殊材料ガス NF3(三フッ化窒素) TMAH シラン(SiH4) プリカーサ(前駆体) ホスフィン(PH3) マスフローコントローラ(MFC)

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