先端トランジスタ(FinFET・GAA) High-k/メタルゲートのトランジスタで、しきい値電圧を調整する主な手段の一つはどれか。 Aゲート電極に使う金属材料の仕事関数を選ぶ Bウエハの直径を変える Cパッケージの材料を変える 答えと解説を見る 正解:A. ゲート電極に使う金属材料の仕事関数を選ぶ メタルゲートでは、ゲート電極の金属の仕事関数によってしきい値電圧が変わります。nMOSとpMOSでそれぞれ適した仕事関数の金属を使い分けたり、薄い金属層を重ねて仕事関数を調整したりして、目的のしきい値電圧を得ています。