先端トランジスタ(FinFET・GAA)

High-k/メタルゲートのトランジスタで、しきい値電圧を調整する主な手段の一つはどれか。

  1. Aゲート電極に使う金属材料の仕事関数を選ぶ
  2. Bウエハの直径を変える
  3. Cパッケージの材料を変える
答えと解説を見る

正解:A. ゲート電極に使う金属材料の仕事関数を選ぶ

メタルゲートでは、ゲート電極の金属の仕事関数によってしきい値電圧が変わります。nMOSとpMOSでそれぞれ適した仕事関数の金属を使い分けたり、薄い金属層を重ねて仕事関数を調整したりして、目的のしきい値電圧を得ています。

この分野を解く 分野ページへ

先端トランジスタ(FinFET・GAA)のほかの問題

  1. ゲートラスト(リプレースメントメタルゲート)プロセスの説明として正しいものはどれか。
  2. 完全空乏型SOI(FD-SOI)トランジスタの利点として正しいものはどれか。
  3. 微細なトランジスタで、チャネル中の不純物原子の数や位置の統計的なばらつきによってしきい値電圧がばらつく現象を何と呼ぶか。
  4. FinFETと比べたときの、ナノシート型GAAトランジスタの設計上の利点として正しいものはどれか。
  5. FinFETの細いフィンをつくるのに使われる、側壁スペーサーを利用してリソグラフィの限界より細かいパターンをつくる技術はどれか。