フラットバンド電圧とは
ふらっとばんどでんあつ
MOS構造で、半導体表面のバンドが曲がらず平らになるときのゲート電圧。ゲートと基板の仕事関数の差と、酸化膜中の電荷で決まり、しきい値電圧を構成する要素の一つ。
この用語の分野: MOSFET
解説の中の「フラットバンド電圧」
熱平衡では接合した物質どうしでフェルミ準位が一直線にそろい、その結果PN接合の内蔵電位やMOSのフラットバンド電圧が生まれます。
フェルミ準位の意味として正しいものはどれか。メタルゲートでは、ゲート電極の金属の仕事関数によってフラットバンド電圧が変わり、しきい値電圧が決まります。
High-k/メタルゲートのトランジスタで、しきい値電圧を調整する主な手段の一つはどれか。いずれもフラットバンド電圧やしきい値電圧をずらし、Qitはサブスレッショルド特性も悪くします。
MOS構造の酸化膜とその界面にある電荷の種類の組み合わせとして、一般的に分類されるものはどれか。
「フラットバンド電圧」が出てくる問題(5問)
関連する用語
しきい値電圧 仕事関数 空乏層 開口数(NA) フェルミ準位 内蔵電位 High-k/メタルゲート 可動イオン 界面準位 LDD構造