シリコンにXeF2のガスとアルゴンイオンのビームを同時に当てると、それぞれ単独の場合の和よりはるかに速くエッチングが進む。このことが示すドライエッチングの性質はどれか。

正解：C. イオンとラジカルの相乗効果(イオンアシスト)

コバーンとウィンターズの実験では、XeF2だけ、アルゴンイオンだけではエッチング速度が小さいのに、両方を同時に当てると速度が大きく増えることが示されました。イオンの衝撃が表面の反応や生成物の脱離を助けるこの相乗効果が、反応性イオンエッチングで速く異方的な加工ができる理由です。

• A. 温度だけでは説明できない現象です。
• B. イオンが反応を大きく促進することを示しています。
• C. 正しい。イオンとラジカルの相乗効果を示しています。