プレストンの式とは
ぷれすとんのしき
CMPの研磨速度が、研磨圧力と、パッドとウエハの相対速度の積に比例するという経験式。
この用語の分野: CMP・洗浄
解説の中の「プレストンの式」
プレストンの式は「研磨速度 = k × 圧力 × 相対速度」という経験式で、1927年にガラスの研磨で示されました。
CMPの研磨速度を表すプレストンの式で、研磨速度に比例するとされる量はどれか。研磨速度は押し付ける圧力にほぼ比例するため(プレストンの式)、ヘッドの中のゴムの膜を同心円状の複数のゾーン(5〜10程度)に分け、それぞれの空気圧を変えることで、ウエハの場所ごとの研磨量を調整できます。
CMPの研磨ヘッドで、ウエハを押し付ける圧力を同心円状の複数の区画ごとに変えられるようにする主な目的はどれか。ブラックの式はエレクトロマイグレーション、プレストンの式はCMPの研磨速度に関する式です。
成膜前後のウエハの反りの変化から、膜の応力を求めるときに使われる関係式はどれか。
「プレストンの式」が出てくる問題(3問)
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