プレストンの式란?
ぷれすとんのしき
CMPの研磨速度が、研磨圧力と、パッドとウエハの相対速度の積に比例するという経験式。
일본어 명칭: プレストンの式
분야: CMP와 세정
관련 용어
枚葉式洗浄 自然酸化膜 希フッ酸(DHF) CMP RCA洗浄 SC-1(APM) SC-2(HPM) SPM(硫酸過水) エロージョン スラリー
ぷれすとんのしき
CMPの研磨速度が、研磨圧力と、パッドとウエハの相対速度の積に比例するという経験式。
일본어 명칭: プレストンの式
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