ブラックの式とは
ぶらっくのしき
エレクトロマイグレーションによる配線の寿命を、電流密度と温度で表す経験式。寿命は電流密度のべき乗に反比例し、温度が上がると指数関数的に短くなる。
この用語の分野: 配線プロセス
解説の中の「ブラックの式」
ブラックの式では、平均故障時間が MTTF = A·J⁻ⁿ·exp(Ea/kT) と表され、電流密度Jのn乗(nは約2)に反比例し、温度に対して指数関数的に短くなります。
エレクトロマイグレーションによる配線の寿命を表すブラックの式で、寿命を短くする要因として正しいものはどれか。ブラックの式はエレクトロマイグレーション、プレストンの式はCMPの研磨速度に関する式です。
成膜前後のウエハの反りの変化から、膜の応力を求めるときに使われる関係式はどれか。
「ブラックの式」が出てくる問題(2問)
関連する用語
エレクトロマイグレーション MTTF(平均故障時間) プレストンの式 CMP RC遅延 IRドロップ エアギャップ MOL(ミドル・オブ・ライン) クロストーク コンタクト