CMP・洗浄 CMPの研磨速度を表すプレストンの式で、研磨速度に比例するとされる量はどれか。 Aスラリーの色 Bウエハの直径 C研磨圧力と、パッドとウエハの相対速度の積 答えと解説を見る 正解：C. 研磨圧力と、パッドとウエハの相対速度の積 プレストンの式は「研磨速度 = k × 圧力 × 相対速度」という経験式で、研磨速度が圧力と速度の積に比例することを表します。比例係数kはスラリーやパッド、研磨する膜の種類によって変わります。