成膜前後のウエハの反りの変化から、膜の応力を求めるときに使われる関係式はどれか。

正解：B. ストーニーの式

ストーニーの式は、基板の厚さや弾性定数、膜の厚さと、成膜前後のウエハの曲率の変化から、膜の応力を求める式です。ウエハの反りをレーザーなどで測定して応力を評価します。ブラックの式はエレクトロマイグレーション、プレストンの式はCMPの研磨速度に関する式です。