ペリクル란?

ぺりくる

フォトマスクの上に一定の間隔をあけて張る薄い膜。異物がマスク面に直接付くのを防ぎ、ペリクルの上に付いた異物は焦点が合わないため転写されにくい。

일본어 명칭: ペリクル

분야: 포토리소그래피