フォトマスクの上に一定の間隔をあけて張る薄い膜(ペリクル)の役割はどれか。

正解：C. 異物がマスク面に直接付着するのを防ぎ、ペリクル上に付いても焦点が合わず転写されにくくする

マスクに異物が付くと、すべてのウエハのすべてのショットに欠陥が転写されてしまいます。ペリクルはマスクから少し離して張った透明な膜で、異物はペリクルの上に付くため焦点が合わず、ウエハには転写されにくくなります。EUV用には、EUV光を透過する特殊なペリクルが開発されています。