ドライ酸化とは
どらいさんか
乾燥した酸素で行う熱酸化。成長は遅いが、緻密で良質な酸化膜ができ、ゲート酸化膜などに使われる。
この用語の分野: 酸化・拡散
解説の中の「ドライ酸化」
水蒸気を使うウェット酸化は、酸化剤のH2OのSiO2中への溶解度がO2より数百倍高いため、ドライ酸化より成長速度が数倍〜10倍程度速くなります。
シリコンの熱酸化について、ドライ酸化(O2)とウェット酸化(H2O)の比較として正しいものはどれか。Deal-Groveモデルは厚い酸化膜の成長をよく表しますが、ドライ酸化で膜厚が数十nm以下の初期の領域では、実際の酸化がモデルの予測より速く進みます。
ドライ酸化で厚さ数十nm以下の薄い酸化膜をつくるとき、Deal-Groveモデルからずれることとして知られているものは…厚い膜を短時間でつくるには高温のウェット酸化が使われる一方、薄いゲート酸化膜は膜厚を精密に制御するため、低温やドライ酸化で時間をかけてつくります。
熱酸化の温度を上げると、同じ時間で得られる酸化膜の厚さはどうなるか。
「ドライ酸化」が出てくる問題(5問)
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