酸化増速拡散(OED)란?
さんかぞうそくかくさん
シリコンを酸化している間に、ボロンやリンの拡散が酸化していないときより速くなる現象。酸化で生じた格子間シリコンがシリコン中に注入されることが原因。
일본어 명칭: 酸化増速拡散(OED)
분야: 산화와 확산
관련 용어
可動イオン 界面準位 酸窒化膜(SiON) 熱酸化 熱拡散 Deal-Groveモデル LOCOS RTP(急速熱処理) STI(シャロートレンチ分離) ウェット酸化
さんかぞうそくかくさん
シリコンを酸化している間に、ボロンやリンの拡散が酸化していないときより速くなる現象。酸化で生じた格子間シリコンがシリコン中に注入されることが原因。
일본어 명칭: 酸化増速拡散(OED)
분야: 산화와 확산
可動イオン 界面準位 酸窒化膜(SiON) 熱酸化 熱拡散 Deal-Groveモデル LOCOS RTP(急速熱処理) STI(シャロートレンチ分離) ウェット酸化