ウエハのノッチとは

うえはののっち

ウエハの結晶方位を示すために外周に設けた小さな切り欠き。200 mm以上のウエハで使われ、それ以前はオリエンテーションフラット(直線部)が使われた。

この用語の分野: シリコンウエハ