ウエハのノッチ란?
うえはののっち
ウエハの結晶方位を示すために外周に設けた小さな切り欠き。200 mm以上のウエハで使われ、それ以前はオリエンテーションフラット(直線部)が使われた。
일본어 명칭: ウエハのノッチ
분야: 실리콘 웨이퍼
관련 용어
結晶方位 酸素析出物(BMD) 偏析係数 CZ法(チョクラルスキー法) DZ(無欠陥層) FZ法(フローティングゾーン法) MCZ法(磁場印加CZ法) SOIウエハ インゴット ゲッタリング
うえはののっち
ウエハの結晶方位を示すために外周に設けた小さな切り欠き。200 mm以上のウエハで使われ、それ以前はオリエンテーションフラット(直線部)が使われた。
일본어 명칭: ウエハのノッチ
분야: 실리콘 웨이퍼
結晶方位 酸素析出物(BMD) 偏析係数 CZ法(チョクラルスキー法) DZ(無欠陥層) FZ法(フローティングゾーン法) MCZ法(磁場印加CZ法) SOIウエハ インゴット ゲッタリング