計測・分析

重ね合わせ(オーバーレイ)のずれを計測するために、ウエハ上に設けるものはどれか。

  1. Aボンディングパッド
  2. Bノッチ
  3. C重ね合わせ計測用の専用マーク
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正解：C. 重ね合わせ計測用の専用マーク

重ね合わせ精度を測るため、チップの周辺のスクライブラインなどに、前の層と今の層のパターンを組み合わせた専用のマーク(ターゲット)をつくります。光学式の計測装置でそれらの位置関係を測り、ずれ量を求めて露光装置の補正にも使います。

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