シリコンウエハの外周に設けるノッチ(小さな切り欠き)の主な役割はどれか。

正解：A. 結晶方位の基準を示す

ノッチは、ウエハの結晶方位を示す目印です。装置はノッチの位置を検出してウエハの向きをそろえ、結晶方位に対して正しい向きでパターンをつくります。小口径のウエハでは、外周の一部を直線に削ったオリエンテーションフラット(オリフラ)が使われていました。