CZ法などで育成した、ウエハに切り出す前の円柱状の単結晶シリコンの塊を何と呼ぶか。

正解：B. インゴット

単結晶の引き上げで得られる円柱状の塊をインゴットと呼びます。インゴットの外周を研削して直径をそろえた後、薄く切ってウエハにします。

• A. ターゲットはスパッタリングで原料として使う板状の材料です。
• B. 正しい。円柱状の単結晶の塊はインゴットです。
• C. ペレットは小さな粒状に成形したものです。