MCZ法(磁場印加CZ法)とは
えむしーぜっとほう
CZ法で、るつぼに磁場をかけて融液の対流を抑える方法。結晶に取り込まれる酸素の濃度を制御しやすく、大口径の結晶で使われる。
この用語の分野: シリコンウエハ
解説の中の「MCZ法(磁場印加CZ法)」
そのため磁場をかけて対流を抑えるMCZ法などで濃度を制御し、用途ごとに仕様を決めています。
CZ法で育成したシリコン結晶に、るつぼから比較的多く取り込まれる不純物はどれか。MCZ法では、これによってるつぼから溶け出す酸素の結晶への取り込みを抑えたり、温度のゆらぎを減らして成長縞を抑え、結晶の均一性を高めたりできます。
CZ法で、るつぼに磁場をかけて融液の対流を抑え、酸素濃度などを制御する方法はどれか。ウエハ面内では年輪のような同心円状の模様として現れ、MCZ法で対流を抑えると減らせます。
CZ結晶で、結晶の成長界面の温度のゆらぎなどによって生じる、ドーパントや酸素の濃度の周期的な縞状の変化を何と呼ぶか。
「MCZ法(磁場印加CZ法)」が出てくる問題(3問)
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