FZ法(フローティングゾーン法)とは
えふぜっとほう
多結晶シリコンの棒の一部を加熱して溶かし、その溶けた帯を移動させて単結晶にする方法。るつぼを使わないため酸素が少なく、高抵抗のウエハに向く。
この用語の分野: シリコンウエハ
解説の中の「FZ法(フローティングゾーン法)」
FZ法は、多結晶シリコンの棒の一部を高周波誘導加熱で帯状に溶かし、その溶融帯を移動させて単結晶化する方法です。
FZ法(フローティングゾーン法)で作製したシリコン単結晶の特徴として正しいものはどれか。
「FZ法(フローティングゾーン法)」が出てくる問題(1問)
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