デュアルダマシン法とは
でゅあるだましんほう
配線の溝とビアの穴を絶縁膜につくってから、両方を同時にCuで埋め込み、1回のCMPで形成する方法。工程数を減らせる。
この用語の分野: 配線プロセス
解説の中の「デュアルダマシン法」
溝とビアを一度に埋め込む方法はデュアルダマシン法と呼ばれます。
Cu配線の形成に一般的に用いられるダマシン法の説明として正しいものはどれか。デュアルダマシン法では配線の溝とビアを一度にCuで埋め込みます。
多層配線におけるビアの説明として正しいものはどれか。デュアルダマシン法では、絶縁膜にビアの穴と配線の溝の両方をリソグラフィとエッチングで形成してから、バリア層、シード層、Cuめっきでまとめて埋め込み、1回のCMPで仕上げます。
配線の溝とビアを同時にCuで埋め込み、1回のCMPで形成する方法を何と呼ぶか。