デュアルダマシン法란?

でゅあるだましんほう

配線の溝とビアの穴を絶縁膜につくってから、両方を同時にCuで埋め込み、1回のCMPで形成する方法。工程数を減らせる。

일본어 명칭: デュアルダマシン法

분야: 배선 공정