RC遅延とは
あーるしーちえん
配線の抵抗(R)と容量(C)の積で決まる信号の遅れ。微細化で配線が細くなるほど大きくなり、性能を制限する。
この用語の分野: 配線プロセス
解説の中の「RC遅延」
配線の抵抗Rと容量Cはどちらも長さに比例するため、RC遅延は長さの2乗に比例し、長さが2倍になると約4倍になります。
配線の断面形状や配線間隔を変えずに、配線の長さを2倍にすると、配線のRC遅延はおよそ何倍になるか。配線の間隔が狭くなると配線間の容量が大きくなり、信号の遅延(RC遅延)や充放電の消費電力、クロストークが増えます。
層間絶縁膜にLow-k(低誘電率)材料を用いる主な目的はどれか。1 mmという短い距離でも、断面が100 nm角の配線ではこれほど大きな抵抗になり、配線容量(1 mmで約0.2 pF)と組み合わせるとRC遅延は数百psになります。
抵抗率2 µΩ·cmの配線で、長さ1 mm、幅と厚さがそれぞれ100 nmのときの抵抗はおよそいくらか。
「RC遅延」が出てくる問題(4問)
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